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DL81/82高精度研磨拋光機，最大可兼容12英寸及以下樣品。研磨/拋光一體機的設計，可用于工藝研發和小批量生產中。 DL 系列是 Logitech 具有創新性的加工解決方案，是其最新高度自動化的智能樣品制備系統。該系統提供對 Logitech 智能氣動夾具的動態負載控制，能夠在廣泛的半導體應用中實現快速、可靠且高度精確的結果。
